北京火眼新材料制造有限公司

高温原位化学气相沉积系统

FE-CVD系列

产品特点、应用范围：

在化学气相沉积系统内集成独有的耐高温显微成像系统，能够实现材料生长过程的原位高分辨光学成像，从而获得材料生长速率、微观形貌等参数的实时信息，为剖析材料生长机理机制，改进材料生长工艺提供精确数据。

产品可应用于二维材料生长、薄膜生长、纳米/微米线生长、高温烧结、高温刻蚀等。

可定制拉曼、二次谐波等光谱模块。

设备原理图：

成像效果：

MoS2生长过程光学成像：

高温液相生长过程的原位成像

高温气相生长过程的原位成像

其他潜在应用场景：

晶体生长

高温加工

发动机内窥、高温燃烧过程

设备主要参数：

	FE-CVD-B	FE-CVD-A	FE-CVD-S
显微成像最高工作温度	600 °C	900 °C	≤ 900 °C
光学分辨率	3 μm		≥ 2 μm
视野	≥ 1000 x 1000 μm		≥ 200 x 200 μm
物镜工作距离	60 mm		20 mm / 60 mm
相机数据位数	8位		最高 16 位
成像波长	532 nm
显微光学成像温区	第1温区（左温区）		左温区 / 右温区
加热温区	双温区
温区长度	20 cm（左温区) + 3 cm（隔断）+ 10 cm（右温区）		定制
石英管最大直径	25.4 mm	50 mm	100 mm
控温精度	± 1 °C
供电电压	220 V
环境温度 / 湿度	5 ~ 40 °C / < 80%
质保方案	1 年

	FE-CVD-ProB	FE-CVD-ProA	FE-CVD-ProS
显微成像最高工作温度	900 °C	950 °C	950 °C
光学分辨率	1.5 μm	1 μm	≥ 1 μm
视野	≥ 200 x 200 μm
物镜工作距离	20 mm
相机数据位数	12 位		最高 16 位
成像波长	532 nm
显微光学成像温区	第1温区（左温区）		左温区 / 右温区
加热温区	双温区
温区长度	20 cm（左温区）+3 cm（隔断）+10 cm（右温区）		定制
石英管最大直径	25.4 mm	50 mm	100 mm
控温精度	± 1 °C
供电电压	220 V
环境温度 / 湿度	5 ~ 40 °C / < 80%
质保方案	1 年