北京火眼新材料制造有限公司

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高温原位化学气相沉积系统 FE-CVD

高温原位化学气相沉积系统 FE-CVD

· 耐950℃高温

· 1μm分辨率

· 高温过程研究

二维材料生长

薄膜沉积

高温晶化、刻蚀

· 支持定制

拉曼光谱

二次谐波光谱

光学自动化检测系统 FE-AOI

光学自动化检测系统 FE-AOI

· 明、暗场成像

· 自主研发图像处理算法

· 可观察缺陷类型

颗粒

划痕

小孔

· 支持扩展

荧光成像

拉曼光谱

二次谐波光谱

MoS2晶圆 FE-MoS2

· 晶圆尺寸 2 英寸

· 覆盖率 >99%

· 单层比例 >99%

· 应用领域

光电探测

化学传感