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北京火眼新材料制造有限公司MoS2晶圆
FE-MoS2
产品特点、应用范围：
单层MoS2具有 ~1.8 eV的直接带隙，厚度 ~0.6 nm，可用于制备超窄沟道的晶体管件，也可用于光电探测、化学传感等领域。
HADDF-STEM图像
拉曼光谱图像
设备主要参数：
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FE-MoS2-Al2O3 |
FE-MoS2-SiO2 |
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晶圆尺寸 |
2 英寸 |
2 英寸 |
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MoS2覆盖率 |
> 99% |
> 99% |
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单层比例 |
> 99% |
> 99% |
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基底 |
蓝宝石 |
SiO2 / Si |
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晶畴尺寸 |
> 50 μm |
> 30 μm |
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生长方法 |
CVD |
CVD |