高温液相生长过程的原位成像
高温气相生长过程的原位成像
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| 晶体生长 | 高温加工 | 发动机内窥、高温燃烧过程 |
| FE-CVD-B | FE-CVD-A | FE-CVD-S | |
| 显微成像最高工作温度 | 600 ℃ | 900 ℃ | ≤ 900 ℃ |
| 光学分辨率 | 3 μm | 3 μm | ≥ 2 μm |
| 视野 | ≥ 1000 × 1000 μm | ≥ 1000 × 1000 μm | ≥ 200 × 200 μm |
| 物镜工作距离 | 60 mm | 60 mm | 20 mm / 60 mm |
| 相机数据位数 | 8 位 | 8 位 | 最高 16 位 |
| 成像波长 | 532 nm | 532 nm | 532 nm |
| 显微光学成像温区 | 第 1 温区 ( 左温区 ) | 第 1 温区 ( 左温区 ) | 左温区 / 右温区 |
| 加热温区 | 双温区 | 双温区 | 双温区 |
| 温区长度 | 20 cm（ 左温区）+ 3 cm（隔断）+ 10 cm（右温区） | 20 cm（ 左温区）+ 3 cm（隔断）+ 10 cm（右温区） | 定制 |
| 石英管最大直径 | 25.4 mm | 50 mm | 100 mm |
| 控温精度 | ± 1 ℃ | ± 1 ℃ | ± 1 ℃ |
| 供电电压 | 220 V | 220 V | 220 V |
| 环境温度 / 湿度 | 5 ～ 40 ℃ / ＜ 80 % | 5 ～ 40 ℃ / ＜ 80 % | 5 ～ 40 ℃ / ＜ 80 % |
| 质保方案 | 1 年 | 1 年 | 1 年 |
| FE-CVD-ProB | FE-CVD-ProA | FE-CVD-ProS | |
| 显微成像最高工作温度 | 900 ℃ | 950 ℃ | 950 ℃ |
| 光学分辨率 | 1.5 μm | 1 μm | ≥ 1 μm |
| 视野 | ≥ 200 × 200 μm | ≥ 200 × 200 μm | ≥ 200 × 200 μm |
| 物镜工作距离 | 20 mm | 20 mm | 20 mm |
| 相机数据位数 | 16 位 | 16 位 | 最高 16 位 |
| 成像波长 | 532 nm | 532 nm | 532 nm |
| 显微光学成像温区 | 第 1 温区 ( 左温区 ) | 第 1 温区 ( 左温区 ) | 左温区 / 右温区 |
| 加热温区 | 双温区 | 双温区 | 双温区 |
| 温区长度 | 20 cm（ 左温区）+ 3 cm（隔断）+ 10 cm（右温区） | 20 cm（ 左温区）+ 3 cm（隔断）+ 10 cm（右温区） | 定制 |
| 石英管最大直径 | 25.4 mm | 50 mm | 100 mm |
| 控温精度 | ± 1 ℃ | ± 1 ℃ | ± 1 ℃ |
| 供电电压 | 220 V | 220 V | 220 V |
| 环境温度 / 湿度 | 5 ～ 40 ℃ / ＜ 80 % | 5 ～ 40 ℃ / ＜ 80 % | 5 ～ 40 ℃ / ＜ 80 % |
| 质保方案 | 1 年 | 1 年 | 1 年 |
