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北京火眼新材料制造有限公司光学自动化检测系统
FE-AOI系列
产品特点、应用范围：
FE-AOI系列光学自动化检测系统，对样品表面进行扫描、光学成像、算法处理，获得表面缺陷分布，为材料制备、半导体制造提供快捷、可靠的检测数据。
该系统采用明场、暗场成像，结合平面栅格扫描、数据处理算法，可以快速检测基底表面的缺陷结构与材料结构。包括颗粒、划痕、小孔分析、层数分析。可扩展荧光成像、拉曼光谱、二次谐波等结构检测功能。
样品光学成像：
晶圆划痕检测
晶圆崩边检测
TGV圆度检测
碳纤维/陶瓷孔洞检测
自主研发图像分析算法：
设备原理：
XY栅格化扫描
明暗场光学检测
自动化单元：
机械臂自动上料
自动固定/松开样品
设备主要参数：
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FE-AOI-M |
FE-AOI-A |
定制 |
|---|---|---|---|
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光学分辨率 |
~ 3 μm |
~ 1 μm |
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光源 |
LED强光光源 |
LED强光光源、拉曼、荧光、二次谐波 |
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样品台位移精度 |
2 μm |
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检测速度 |
3 min / 片（6英寸） |
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适用晶圆尺寸 |
最大 8 英寸 |
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相机参数 |
暗场：16位； 2992x3000 / 明场：8位；3008x3000 |
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样品台 |
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定制 |
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划痕检测 |
检出限：20 nm（深度） 检出率：与进口SiC缺陷检测设备相当 |
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崩边检测 |
检出限：50 μm x 50 μm |
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机械臂 |
无 |
单臂真空吸附 支持Mapping、样品翻转 |
定制 |
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校准器 |
无 |
真空吸附 |
定制 |
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卡塞个数 |
无 |
2 ~ 4 个 |
定制 |
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安全门 |
无 |
接近感应器，开门停机 |
定制 |
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工作电压 |
220 V |
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工作温度 / 湿度 |
5 ~ 40 °C / < 80% |
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质保方案 |
1 年 |
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